发明名称 MANUFACTURE OF POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04144122(A) 申请公布日期 1992.05.18
申请号 JP19900266254 申请日期 1990.10.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MASAKI YUICHI;NAKAZONO TAKUSHI;NAKAMURA HIROYOSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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