发明名称 图像形成用曝光装置
摘要 一种图像形成用曝光装置系将具有放电灯及反射镜的紫外线照射装置以上,下对称之方式配置于具有贯孔之图像形成用基板的上方及下方,且于射入至图像形成用基板之紫外线之光路的中途,将具有锯齿状断面之扁平之上、下的透光板以对图像形成用基上、下对称且可沿着水平方向移动方式间隔开地配置,同时使施于图像形成用基板之表面及贯穿孔之内壁面的电着性光阻剂(Photoresist)产生适当的光反学反应,以谋求提高图像形成作业的效率。
申请公布号 TW186091 申请公布日期 1992.06.21
申请号 TW081102264 申请日期 1992.03.25
申请人 奥克制作所股份有限公司 发明人 阿部千秋;绵贯稔
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 洪澄文 台北巿信义路四段二七九号三楼
主权项
地址 日本
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