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发明名称
DEVICE FOR INSPECTING FOREIGN OBJECT ON SUBSTRATE SURFACE
摘要
申请公布号
JPH04194737(A)
申请公布日期
1992.07.14
申请号
JP19900322978
申请日期
1990.11.28
申请人
HITACHI LTD
发明人
UTO YUKIO
分类号
G01N21/84;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956
主分类号
G01N21/84
代理机构
代理人
主权项
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