发明名称 LOCAL GETTERING METHOD FOTR SILICIUM SEMICONDUCTOR DEVICE STRUCTURES
摘要
申请公布号 RO100284(B1) 申请公布日期 1992.07.27
申请号 RO19880133238 申请日期 1988.04.27
申请人 INST CERCETARI STIINTIFICE 发明人 GAIESEANU FLORIN;POSTOLACHE CONSTANTIN
分类号 H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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