发明名称 PRODUCTION OF DIAMOND THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04240191(A) 申请公布日期 1992.08.27
申请号 JP19910006926 申请日期 1991.01.24
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 KATSUMATA SATOSHI
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/44;C30B29/04 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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