发明名称 REFLECTING DEVICE AND PATTERN TRANSFER APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号 US5150151(A) 申请公布日期 1992.09.22
申请号 US19900489194 申请日期 1990.03.06
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MOCHIZUKI, NORITAKA;EBINUMA, RYUICHI
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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