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经营范围
发明名称
VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04267532(A)
申请公布日期
1992.09.24
申请号
JP19910028563
申请日期
1991.02.22
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KAWACHI TETSUYA;MIYAMOTO YOSHIHIRO;YAMAMOTO KOSAKU;YAMAMOTO TAMOTSU;MURAKAMI SATOSHI
分类号
H01L21/205;H01L21/365
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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