SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS,申请号JP19910078413-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH04288831(A)	申请公布日期	1992.10.13
申请号	JP19910078413	申请日期	1991.03.18
申请人	NEC YAMAGATA LTD	发明人	SATO KENJI
分类号	C23F1/08;H01L21/304;H01L21/306	主分类号	C23F1/08
代理机构		代理人
主权项
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