显像液管理装置

摘要

本发明系关于一种显像液管理装置，其主要系在液晶基板制造工程及印刷基板制造工程中，除了能使用于感光性有机树脂之影像用途之硷系显像液的显像性能经常保持一定外，亦大幅缩短作业停止时间。其主要系设有：藉吸光光度计１６检测出显像液之溶解树脂浓度而排出显像液之显像液排出装置，藉液面高度计３检测出显像液之液面高面而补给显像原液与纯水之第一补给装置以及藉导电率计１５检测出显像液之硷性浓度而补给显像原液与纯水之第二补给装置。

主权项

1.一种显像液管理装置,其主要特征系备有可藉吸光光度计(16)检测出感光性有机树脂用显像液之溶解树脂浓度,而排出显像液之显像液排出装置,藉液面高度计(3)检测出显像液之液面高度,而补给显像原液与纯水之第一补给装置以及藉导电率计(15)检测出显像液之硷性浓度,而补给显像原液或纯水之第二补给装置。2.如申请专利范围第1项之显像液管理装置,第一补给装置,乃取代补给显像原液与纯水之方式,而补给一事先将显像原液与纯水调和而成之显像新液。3.一种显像液管理装置,其主要特征系备有可藉吸光光度计(16)检测出感光性有机树脂用显像液之溶解树脂浓度,而补给显像原液与纯水之第三补给装置以及藉导电率计(15)检测出显像液之硷性浓度而补给显像原液或纯水之第二补给装置。4.如申请专利范围第3项之显像液管理装置,第三补给装置,乃取代补给显像原液与纯水之方式,而补给一事先将