发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04320027(A) 申请公布日期 1992.11.10
申请号 JP19910086431 申请日期 1991.04.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OSAKA SHIGEO
分类号 H01L21/28;H01L29/41 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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