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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04348526(A) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19910120622 申请日期 1991.05.27
申请人 NEC CORP 发明人 MIZUSHIMA KAZUYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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