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发明名称 HETERODYNE INTERFEROMETER SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0194941(B1) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 EP19860400506 申请日期 1986.03.11
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 SOMMARGREN, GARY E.
分类号 G01B9/02;G01J9/04 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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