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发明名称 ELECTROCHEMICAL PLANARIZATION
摘要
申请公布号 EP0471664(A4) 申请公布日期 1993.02.10
申请号 EP19890908619 申请日期 1989.07.10
申请人 UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY 发明人 BERNHARDT, ANTHONY, F.;CONTOLINI, ROBERT, J.
分类号 H01L21/28;C23C18/31;H01L21/3063;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/08 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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