发明名称 MICROWAVE BAND WAFER PROBING HEAD
摘要
申请公布号 JPH0563040(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910222829 申请日期 1991.09.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OTA YUKIO
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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