发明名称 AUTOMATIC PART LOADING AND UNLOADING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH0563008(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910246979 申请日期 1991.08.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YANASE CHIHIRO;JO TOSHITAKA
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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