| 发明名称 |
DEVICE FOR FINDING MAGNIFICATION OF SECONDARY ELECTRON IMAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05102259(A) |
申请公布日期 |
1993.04.23 |
| 申请号 |
JP19910255612 |
申请日期 |
1991.10.03 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TEGURI HIRONORI;OKUBO KAZUO;ITO AKIO |
| 分类号 |
G01B15/00;H01J37/22;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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