发明名称 SURFACE TREATING METHOD FOR BASE MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH05102110(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910259176 申请日期 1991.10.07
申请人 TOKAI UNIV 发明人 MURAHARA MASATAKA;OBARA TAKASHI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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