发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05102089(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910262404 申请日期 1991.10.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOSHIMIZU CHISHIO
分类号 G01N21/73;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 G01N21/73
代理机构 代理人
主权项
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