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发明名称 FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH05109833(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19920084621 申请日期 1992.03.06
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KAMIYAMA TADASHI;EMOTO YOSHIAKI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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