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发明名称 DRY ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH05109663(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910265809 申请日期 1991.10.15
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 ARAI KIYOMI;TSUTSUMI TOSHIAKI
分类号 C23C14/56;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/16 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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