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经营范围
发明名称
WASHING TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH05152265(A)
申请公布日期
1993.06.18
申请号
JP19910317939
申请日期
1991.12.02
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
OMORI MASASHI;WATAYA TAKASHI
分类号
B08B1/02;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
B08B1/02
代理机构
代理人
主权项
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