发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05231859(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 JP19920032424 申请日期 1992.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJII AKIRA;WAKANA SHINICHI
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/04;G01Q60/10;G01Q60/24;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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