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发明名称 LASER INSPECTION DEVICE FOR WAFER SURFACE HAVING PATTERN
摘要
申请公布号 JPH05240798(A) 申请公布日期 1993.09.17
申请号 JP19920098987 申请日期 1992.02.28
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 HAGA SACHIKO
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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