| 发明名称 |
METHOD OF SPUTTERING LAYERS AND APPARATUS FOR MAKING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CZ8904804(A3) |
申请公布日期 |
1993.10.13 |
| 申请号 |
CS19890004804 |
申请日期 |
1989.08.14 |
| 申请人 |
FYZIKALNI USTAV AVCR |
发明人 |
KADLEC STANISLAV RNDR;MUSIL JINDRICH ING |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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