发明名称 BONDING TOOL
摘要
申请公布号 JPH05299477(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19920104809 申请日期 1992.04.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TANABE KEIICHIRO;TAKAHASHI TOSHIYA;IKEGAYA AKIHIKO
分类号 H01L21/60;H01L;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址