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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05299378(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19920100797 申请日期 1992.04.21
申请人 I N R KENKYUSHO:KK 发明人 INOUE KIYOSHI
分类号 C23C16/50;C23C16/515;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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