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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065793(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920164520 申请日期 1992.06.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SUGIURA MITSUO
分类号 H01L27/082;H01L21/8222;H01L21/8228;(IPC1-7):H01L27/082 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
主权项
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