发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT TESTING WIRING BOARD AND SEMICONDUCTOR ELEMENT TESTING METHOD USING SAME
摘要
申请公布号 JPH065669(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920159173 申请日期 1992.06.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UMEDA SHINJI;HATADA KENZO;FUJIMOTO HIROAKI
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
地址