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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0653158(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920202714 申请日期 1992.07.29
申请人 NEC CORP 发明人 OKUZUMI TETSUYA
分类号 H01L21/22;H01L21/266;(IPC1-7):H01L21/266 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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