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发明名称 Ortung und Prüfung von in Betracht kommenden Flächen auf einem Werkstück.
摘要
申请公布号 DE3883425(T2) 申请公布日期 1994.03.24
申请号 DE19883883425T 申请日期 1988.05.10
申请人 THERMA-WAVE, INC. (N.D.GES.D. STAATES CALIFORNIEN), FREMONT, CALIF., US 发明人 SCHUUR, JOHN, SAN JOSE CALIFORNIA 95127, US;WILLENBORG, DAVID L., DUBLIN CALIFORNIA 94568, US;TAYLOR, MICHAEL W., OAKLAND CALIFORNIA 94602, US;ROSENCWAIG, ALLAN, DANVILLE CALIFORNIA 94526, US
分类号 H01L21/66;G01N21/17;G01N21/55;G01N21/95;H01J37/305;(IPC1-7):G01N21/17;G01N21/88 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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