| 摘要 |
本发明之一实施例系揭示一种系统，此系统在一第二辐射物体例如加热灯118 存在状况下测量一第一物体例如晶圆112之温度。加热灯118系用以在装置处理中加热晶圆112及灯118两者均放出辐射。一第一检测器120检测由晶圆112 及灯118两者所放出之辐射。一第二检测器122亦可使用以检测仅来自加热灯118之辐射。一调变源126系用以将加热器118调变至一选择之调变度M∟，以使得灯118之温度随着选择之交流调变而改变并且使得晶圆112之温度实质上保持一定。又，电路系用以根据加热灯调变以决定由灯放出并由第一检测器120收集之辐射（灯干扰信号）量，然后计算晶圆112之精确温度。本发明亦揭示其他系统及方法。 |
