| 摘要 |
구리 또는 구리 합금으로 이루어지는 원통형 스퍼터링 타깃용 소재의 제조 방법으로서, 연속 주조기 또는 반연속 주조기를 사용하여, 평균 결정 입경이 20 ㎜ 이하인 원통상 주괴를 주조하는 연속 주조 공정과, 이 원통상 주괴에 대하여 냉간 가공과 열처리를 반복하여 실시함으로써, 외주면에 있어서의 평균 결정 입경이 10 ㎛ 이상 150 ㎛ 이하, 또한, 평균 결정 입경에 대하여 2 배 이상의 결정립이 차지하는 면적 비율이 전체 결정 면적의 25 ％ 미만으로 된 상기 원통형 스퍼터링 타깃용 소재를 성형하는 냉간 가공 공정 및 열처리 공정을 구비하고 있다. |
