| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING GROWTH OF SEMICONDUCTOR FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2011973(C1) |
申请公布日期 |
1994.04.30 |
| 申请号 |
SU19914912130 |
申请日期 |
1991.02.19 |
| 申请人 |
NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ TEKHNOLOGICHESKIJ INSTITUT |
发明人 |
KADUSHKIN VLADIMIR I;FOMICHEV SERGEJ I |
| 分类号 |
G01N23/20;H01L21/203;(IPC1-7):G01N23/20 |
主分类号 |
G01N23/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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