发明名称 シリカガラスルツボの検査方法
摘要 An inspection method of vitreous silica crucibles, includes: a measurement step of measuring an infrared absorption spectrum or a Raman shift of a measurement point on an inner surface of the vitreous silica crucible; a determining step of predicting whether or not a surface-defect region occurs at the measurement point based on an obtained spectrum to determine a quality of the vitreous silica crucible.
申请公布号 JP6030764(B2) 申请公布日期 2016.11.24
申请号 JP20150524912 申请日期 2013.06.30
申请人 株式会社SUMCO 发明人 須藤 俊明;佐藤 忠広;北原 賢;大原 真美
分类号 C30B15/10;C03B20/00;C30B29/06;G01N21/3563;G01N21/65;G01N21/88 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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