| 摘要 |
<P>L'invention concerne une valve à déversoir à trois voies. <BR/> Le corps (12) de valve comporte un conduit commun (16) d'écoulement et deux autres conduits (18, 20) d'écoulement pouvant tous être raccordés à des conduites extérieures. Un déversoir (22) ayant deux sièges (26, 30) de valve sépare le conduit commun des deux autres conduits. Deux diaphragmes coaxiaux (34, 36) sont destinés à porter contre les sièges. Les deux diaphragmes sont reliés à des compresseurs (38, 40) qui les commandent par l'intermédiaire de cylindres pneumatiques (54, 56). <BR/> Domaine d'application: fabrication de semiconducteurs, etc.</P>
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