发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06302650(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930112204 申请日期 1993.04.14
申请人 NEC CORP 发明人 TSUKAMOTO KENJI
分类号 H01L21/60;H01L23/10;H01L23/12;H01L23/13;H01L23/498;H01L25/065;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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