发明名称 MOS SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0722616(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930166860 申请日期 1993.07.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMASHITA KYOJI;ODANAKA SHINJI;KURIMOTO KAZUMI
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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