发明名称 Fokussierung eines Elektronenstrahls.
摘要
申请公布号 DE69011908(T2) 申请公布日期 1995.03.23
申请号 DE19906011908T 申请日期 1990.02.14
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KANDA, KIMIO, KATSUTA-SHI, IBARAKI 312, JP
分类号 H01J37/04;H01J37/153;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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