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发明名称 PLASMA PINCH SYSTEM AND METHOD OF USING SAME.
摘要
申请公布号 EP0390871(B1) 申请公布日期 1995.05.31
申请号 EP19890901826 申请日期 1988.12.02
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 发明人 ASMUS, JOHN, F.;LOVBERG, RALPH, H.;BOYER, KEITH
分类号 C23F4/00;G03F7/20;H01J61/72;H01L21/02;H01L21/268;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/04;H05H1/52;(IPC1-7):H05H1/24 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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