发明名称 DEVICE FOR MEASURING TEMPERATURE OF WAFER
摘要
申请公布号 KR950004588(Y1) 申请公布日期 1995.06.10
申请号 KR19930003436U 申请日期 1993.03.09
申请人 GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD. 发明人 JON, BYONG - SOP
分类号 G01K13/00;(IPC1-7):G01K13/00 主分类号 G01K13/00
代理机构 代理人
主权项
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