| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR APPARATUS AND TEST METHOD THEREOF |
| 摘要 |
본 기술은 복수의 관통 비아; 및 정상 관통 비아가 기준 레벨에 도달할 수 있도록 기 설정된 임계 시간만큼 상기 복수의 관통 비아를 충전하고, 충전된 상기 복수의 관통 비아 각각의 전압 레벨에 따라 패스/페일을 판정하여 페일 판정된 관통 비아를 리페어하도록 구성된 셀프 리페어부를 포함할 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR20160121737(A) |
申请公布日期 |
2016.10.20 |
| 申请号 |
KR20150051057 |
申请日期 |
2015.04.10 |
| 申请人 |
SK HYNIX INC. |
发明人 |
SHIM, SEOK BO |
| 分类号 |
G01R31/3181;G01R19/165;G01R31/319 |
主分类号 |
G01R31/3181 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
