发明名称 Verfahren zur Herstellung von Monohalogenosilanen.
摘要
申请公布号 DE69107692(T2) 申请公布日期 1995.08.17
申请号 DE19916007692T 申请日期 1991.06.10
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KUBOTA, TOHRU, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., KUBIKI-MURA, NAKAKUBIKI-GUN, NIGATA 942, JP;KUROSAKI, TADAO, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., KUBIKI-MURA, NAKAKUBIKI-GUN, NIGATA 942, JP;ISHIHARA, TOSHINOBU, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., KUBIKI-MURA, NAKAKUBIKI-GUN, NIGATA 942, JP;ENDO, MIKIO, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., KUBIKI-MURA, NAKAKUBIKI-GUN, NIGATA 942, JP
分类号 B01J21/18;B01J31/02;C07B61/00;C07F7/12;(IPC1-7):C07F7/12 主分类号 B01J21/18
代理机构 代理人
主权项
地址