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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitrid, Ausgangsverbindung hierfür sowie Verfahren zu dessen Herstellung.
摘要
申请公布号 DE59300386(D1) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 DE19935000386 申请日期 1993.01.05
申请人 BAYER AG, 51373 LEVERKUSEN, DE 发明人 BALDUS, HANS-PETER, DR., W-5093 BURSCHEID, DE;SCHNICK, WOLFGANG, DR., W-5300 BONN, DE
分类号 C01B21/068;C01B21/097;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
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