发明名称 Vorrichtung zum Plasmastrahlbearbeiten von Werkstückoberflächen.
摘要
申请公布号 DE69113161(D1) 申请公布日期 1995.10.26
申请号 DE19916013161 申请日期 1991.04.09
申请人 HAUZER HOLDING B.V., VENLO, NL 发明人 VLADIMIROVICH, DANYSH SERGEY, 107150 MOSCOW, SU;IVANOVNA, KOLOSOVA GALINA, 12364 MOSCOW, SU;NICKOLAEVICH, LOBANOV ALEXEY, 113093 MOSCOW, SU;VLADIMIROVICH, OBUKHOV ANDREY, 113149 MOSCOW, SU;ALEXEEVICH, OBUKHOV VLADIMIR, 125502 MOSCOW, SU;IGOREVICH, YURCHENKO ALEXANDR, 117421 MOSCOW, SU
分类号 B23K15/00;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/08 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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