发明名称 Fokussierungsdetektionsgerät.
摘要
申请公布号 DE68922179(T2) 申请公布日期 1995.11.16
申请号 DE19896022179T 申请日期 1989.10.24
申请人 NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMANO, SHOZO, TOKYO, JP
分类号 G03B13/36;G02B7/28;G02B7/34;(IPC1-7):G02B7/28 主分类号 G03B13/36
代理机构 代理人
主权项
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