METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR,申请号JP19940114809-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	JPH07321089(A)	申请公布日期	1995.12.08
申请号	JP19940114809	申请日期	1994.05.27
申请人	HITACHI LTD	发明人	SUZUKI SHINICHI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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