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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07321062(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940114810 申请日期 1994.05.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 KAMATA TADASHI;KUSAKABE JUNJI;TAKADA HITOSHI;KONDO KAZUTOSHI
分类号 H01J37/20;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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