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发明名称 HEAT TREATMENT SYSTEM FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH07321023(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940132633 申请日期 1994.05.23
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 YABE MANABU
分类号 H01L21/027;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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