| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH088264(A) |
申请公布日期 |
1996.01.12 |
| 申请号 |
JP19940159209 |
申请日期 |
1994.06.17 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
MATSUSHITA JUNICHI;YOSHIKAWA ATSUSHI;SANADA MASAYUKI;SHIMIZU TATSUYA |
| 分类号 |
H01L21/322;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/322 |
主分类号 |
H01L21/322 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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