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发明名称 CHEMICAL COLLIMATOR
摘要
申请公布号 JPH0831804(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940166551 申请日期 1994.07.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 YUNOGAMI TAKASHI;MIZUTANI TATSUMI;ONO TETSUO;YOKOGAWA KATANOBU
分类号 C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
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